真空環境中進行加熱的設備。在金屬罩殼或石英玻璃罩密封的爐膛中用管道與高真空泵系統聯接。爐膛真空度可達133×(10-2～10-4)Pa。爐內加熱系統可直接用電阻爐絲(如鎢絲)通電加熱，也可用高頻感應加熱。最高溫度可達3000℃左右。主要用于陶瓷燒成、真空冶煉、電真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊，以及陶瓷-金屬封接等。

優點：

1、完全消除了加熱過程中工件表面的氧化、脫碳，可獲得無變質層的清潔表面。這對于那些在刃磨時僅磨一面的刀具（如麻花鉆磨削后使溝槽表面的脫碳層直接暴露于刃口）切削性能的改善關系極大。

2、對環境無污染，不需進行三廢處理。

3、爐溫測定、監控精度明顯提高。熱電偶的指示值與爐溫溫度達到±1.5°c。但爐內大批工件不同部位的溫差較大，若采用稀薄氣體強制循環，仍可控制在±5°c溫差范圍內。

4、機電一體化程度高。在溫度測控精度提高的基礎上，工件移動、氣壓調節、功率調節等均可預先編程設定，按步驟實施淬火和回火。

5、耗顯著低于鹽浴爐。現代先進的真空爐加熱室采用優質隔熱材料制成的隔熱墻和屏障，可將電熱能量高度集中于加熱室內，節能效果顯著。